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MX51半導體檢查顯微鏡———慧龍環科010-59483667
MX51半導體檢查顯微鏡能對應150 mm晶圓/FPD玻璃基板的手動操作型號(反射透射兼用)
對應從明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。MX51半導體檢查顯微鏡高度的擴展性能可以對應不同的樣品,性價比優異。
MX51半導體檢查顯微鏡詳細參數:
光學系統 |
UIS2光學系統(無限遠校正) |
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機身 |
觀察方法 |
明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 |
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反射/透射 |
反射/透射 |
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照明裝置 |
明暗視場反射照明管(明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光) |
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照明系統 |
反射照明 |
100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 |
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透射照明 |
纖維光導 |
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對焦單元 |
電動/手動 |
手動 |
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行程 |
32 mm |
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分辨率/微調靈敏度 |
微調旋鈕轉動1周移動0.1 mm |
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大樣本高度 |
30 mm |
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物鏡轉換器 |
電動型 |
明視場微分干涉6孔 |
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手動式 |
明視場5孔 |
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載物臺 |
行程 |
6×6 英寸右下手柄:158(X)×158(Y)mm (透射照明范圍100×100 mm) |
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觀察筒 |
廣角視場(視場數22) |
倒置 |
雙目/三目觀察筒 |
正像 |
三目觀察筒 |
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超寬視場(視場數26.5) |
倒置 |
三目觀察筒 |
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正像 |
傾斜三目觀察筒 |
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附件單元 |
DUV單元/IR單元/自動裝載 |
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外形尺寸 |
430(W)×591(D)×495(H)mm(標準組合) |
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重量 |
26 kg(標準組合) |
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